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1  主軸系統(tǒng)位于設(shè)備的下方，由電機通過窄 V 帶及斜齒輪拖動，采用最短的傳動鏈保證了其運轉(zhuǎn)精度,下盤采用動壓軸承支撐，運轉(zhuǎn)剛度和精度都得到了良好的保障，下盤軸下部裝有旋轉(zhuǎn)接頭，用于下盤內(nèi)通冷卻水，下盤冷卻水流量可通過電動閥比例調(diào)節(jié)

2  PP 拋光頭位于設(shè)備的上部，PP 頭的升降及加壓由氣缸實現(xiàn)，四個 PP 頭的升降及加壓均單獨控制；PP 頭可主動旋轉(zhuǎn)，單獨控制；PP 頭具備真空吸附功能，可將陶瓷盤快速提起

3 在設(shè)備的上部箱體正面設(shè)有主操作面板，可進(jìn)行參數(shù)設(shè)定，運行監(jiān)控等功能，在上箱體的兩個側(cè)面分別設(shè)有小操縱板用于四個 PP 頭的升降操作，在機臺相對應(yīng)的機架位也有一鍵裝盤操作功能                            

4 拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設(shè)備的后部引入；                               5 在下盤的外側(cè)設(shè)有可滑動的防護(hù)罩，可防止工作液的飛濺，減少有害氣體的溢出；    

6 設(shè)備具有水液分離機構(gòu)，可實現(xiàn)拋光液及水的自由切換；                           7 在下拋盤中間設(shè)有可升降的一個中間導(dǎo)輪裝置，在接液盆邊緣部位設(shè)有四個外導(dǎo)輪裝置，二者配合可實現(xiàn)工件盤的自動定位；

8 拋光液流經(jīng)或可能會接觸到的地方均采用不銹鋼材料或耐腐蝕非金屬材料制作或進(jìn)行 特殊的防腐處理，液桶采用透明 PVC 或不銹鋼制作 (按客戶需求定) ，拋光液管路采用潔凈 PVC 制作，滿足強酸強堿強氧化劑的使用環(huán)境。

10 具有自動沖水裝置，PP 頭將陶瓷盤提起后，可自動對工件或 PP 頭進(jìn)行噴水沖洗 (選配)；

11 界面密碼分級管理，可根據(jù)不同權(quán)限設(shè)置；

12 歷史數(shù)據(jù) (溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、時間等) 可導(dǎo)出。